Mainz 1997 – scientific programme

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K: Kurzzeitphysik

K 3: Kurzzeitdiagnostik, elektrische und optische Verfahren

K 3.5: Talk

Monday, March 3, 1997, 17:00–17:15, RW 2

Stroboskopische Visualisierung der Membranbewegung einer thermo-pneumatischen Mikropumpe — •Peter Krehl¹, Stephan Engemann¹ und W.K. Schomburg² — ¹Ernst-Mach-Institut, Institut für Kurzzeitdynamik der Fraunhofer-Gesellschaft, 79104 Freiburg — ²Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik, 76021 Karlsruhe

Zur Visualisierung mikromechanischer Bauteile wurde ein Laserstroboskop aufgebaut, mit dem sich periodische Bewegungen unter dem Mikroskop direkt beobachten und ausmessen lassen. Das Stroboskop besteht aus einem Stickstoff/Farbstoff-Lasersystem und wird über einen Pulsdiskriminator von der Erregerspannung des Mikroaktors getriggert. Die Einkopplung des Laserstrahls in den Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops erfolgt über eine Faseroptik an der Schnittstelle zwischen Lampenhaus und Mikroskopstativ. Die Blitzfrequenz läßt sich zwischen 0-60 Hz einstellen und so der Bildfrequenz kommerzieller Videokameras anpassen. Die Blitzdauer beträgt 0.5 ns. Das Stroboskop gestattet die Visualisierung periodisch erregter mikromechanischer Bauteile bis zu einer Betriebsfrequenz von 100 kHz.