Mainz 1997 – scientific programme

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K: Kurzzeitphysik

K 5: Laserstrahl - Wechselwirkungen

K 5.4: Talk

Tuesday, March 4, 1997, 16:45–17:00, RW 2

Pulsdauerabhängigkeit der Laserablationsmechanismen dielektrischer Materialien – Massenspektroskopische Time-of-Flight Messungen — •M. Wähmer, H. Varel, A. Rosenfeld und E.E.B. Campbell — Max-Born-Institut für nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie, Postfach 1107, D-12474 Berlin, Germany

Durch die Bereitstellung ultrakurzer Laserimpulse im sub ps-Pulsdauerbereich erreicht man trotz geringer Pulsenergien Strahlintensitäten, die eine Bearbeitung transparenter wide-band-gap Materialien wie Quarz, Saphir oder CaF2 im sichtbaren Wellenlängenbereich ermöglichen. Dabei erzielt man unter Verwendung von Laserimpulsen mit Pulsdauern im fs- bis ps-Bereich deutlich bessere Bearbeitungsergebnisse als mit ns-Pulsen. Bei einer Verkürzung der Pulsdauer verschieben sich die beteiligten dominanten Ablationsprozesse vom Bereich thermisch bedingter Effekte, wie thermoelastischer Streß oder Schmelzen des Materials in den nichtthermischen Bereich, der durch Ionisation mittels Multiphotonenabsorption bzw. Avalanche Prozeß charakterisiert wird. Ergebnisse zu den massenspektroskopischen TOF-Messungen in Abhängigkeit verschiedener Pulsdauern und Dielektrika werden vorgestellt.