Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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K: Kurzzeitphysik

K 6: Laser - Anwendungen / - Materialbearbeitung I

K 6.3: Vortrag

Mittwoch, 5. März 1997, 14:45–15:00, RW 2

Einfluß selbstfokussierender Effekte bei der Laser Mikrostrukturierung — •H. Varel, S. Henz, D. Ashkenasi, A. Rosenfeld und E.E.B. Campbell — Max-Born-Institut für nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie, Postfach 1107, D-12474 Berlin, Germany

Bei der lasergestützten Bearbeitung transparenter Materialien sind aufgrund der nichtlinearen optischen Effekte folgende Anwedungen möglich: a) Herstellung von ultraschmalen Bohrkanälen, b) Erzeugung von sub-µm Löchern auf der Rückseite der Proben und c) Schaffung von Mikrostrukturen im Materialinnern ohne eine Modifikation der Oberflächen. Absicht ist es, Lage und Charakter dieser durch die Selbstfokussierung hervorgerufenen Strukturen mit einer gezielten Einstellung der optischen Parameter zu kontrollieren, um die nichtlinearen optischen Effekte zur 3D-Mikrostrukturierung nutzen zu können. Wir präsentieren Untersuchungen bei unterschiedlichen Dielektrika mit einem Ti:Saphir fs-Lasersystem. Erste theoretische Ergebnisse zur Simulation der Selbstfokussierung werden zur Interpretation der Ergebnisse herangezogen.