Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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K: Kurzzeitphysik

K 7: Laser - Anwendungen / - Materialbearbeitung II

K 7.1: Fachvortrag

Mittwoch, 5. März 1997, 16:00–16:30, RW 2

Keramische PLD-Schichten: Eigenschaften und Anwendungen — •E.W. Kreutz¹, A. Husmann¹ und M. Mertin² — ¹Lehrstuhl für Lasertechnik, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Steinbachstraße 15, D-52074 Aachen — ²ZEISS, Carl Zeiss Straße 1, D-73447 Oberkochen

Strahlungs-, Massen- und Energietransport beim laserstrahlungsunterstützten Abtragen und Abscheiden von Keramiken werden dargestellt. Die Verfahrensparameter bestimmen die chemischen-, strukturellen-, elektrischen- und mechanischen Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten. Anwendungen der Elektronik, Sensorik, Tribologie und Mikrosystemtechnik werden aufgezeigt.