Mainz 1997 – scientific programme

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MS: Massenspektrometrie

MS 3: Cluster und Ion-Molekül-Reaktionen

MS 3.4: Talk

Monday, March 3, 1997, 17:15–17:30, HS 20

Charakterisierung einer MBE-Quelle mittels Femtosekunden Laserspektroskopie — •H. Buchenau, R. Hoch, M. Honer, B. Lang und G. Gerber — Experimentelle Physik I, Universität Würzburg

Vorwiegend das Tetramer As₄ liegt im Strahl einer Molekularstrahl-Epitaxie-Quelle vor. Vorteilhaft und gewünscht für epitaktisches Wachstum, z. B. von GaAs-Oberflächen, sind jedoch hohe Anteile von Arsenatomen oder As₂-Molekülen. Kommerzielle MBE-Quellen werden deshalb z.T. mit sog. „Cracker-Stufen“ versehen, die das As₄ bei hohen Temperaturen thermisch dissoziieren. Über die Zusammensetzung des Molekularstrahls ist allerdings wenig bekannt. Wir stellen ein Verfahren zur qualitativen Charakterisierung von Strahlen aus MBE-Quellen vor. Eine Kombination aus Multiphotonen-Ionisation mit Femtosekunden-Laser und Flugzeit-Massenspektrometrie ermöglicht die Bestimmung der Größenverteilung neutraler Teilchen im Strahl. Wichtig sind dabei die Parameter Laserintensität, Pulsdauer und Wellenlänge. Ziel ist die genauere Charakterisierung sowie Verbesserung der MBE Quellen und dadurch eine Optimierung des epitaktischen Wachstumsprozesses.