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P: Plasmaphysik

P 13: Postersitzung I

P 13.17: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 16:00–18:00, Foyer

Chemische Erosion von Kohlenstoffschichten in H₂- und D₂-Plasmen — •U. Fantz und K. Behringer — Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, Memminger Str. 6, D-86135 Augsburg

In mikrowellen-angeregten Plasmen (n_e= 10¹⁷ m⁻³, T_e= 2−4 eV, T_gas= 500 K) wird die chemische Erosion von verschiedenen Kohlenstoffmaterialien (CFC, EK98, a-C:H) durch kalte Wasserstoff- und Deuteriumatome (Γ_H=Γ_D ≈ 10²¹ m⁻²s⁻¹) untersucht. Die Erosionsprodukte werden mit der Massenspektrometrie und der optischen Emissionsspektroskopie gemessen. Die Messungen ermöglichen die Bestimmung der Ausbeuten von Methan und höheren Kohlenwasserstoffen durch atomaren Wasserstoff, wobei die Abhängigkeit von der Substrattemperatur detailliert untersucht wird. Um Oberflächeneffekte des Substats aufzuzeigen werden alle Messungen zeitaufgelöst durchgeführt. Desweiteren werden mit der Emissionsspektroskopie die Molekülbanden (CH, CD, C₂) ortsaufgelöst untersucht, um Einflüsse vom Plasma auf die Bestimmung von Ausbeuten zu ermitteln.