Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.10: Poster

Tuesday, March 4, 1997, 18:00–20:00, Foyer

Laserinduzierte Fluoreszenzspektroskopie an einem GEC-Reaktor mit kapazativer Einkopplung — •T. Kawetzki, A. Goehlich und H.F. Döbele — Institut f. Laser- und Plasmaphysik, Uni GH Essen, 45117 Essen

Atomarer Sauerstoff wird in einem mit Sauerstoff betriebenem GEC- planparallel Plattenreaktor (13.56 MHz) durch Zweiphotonen Absorption (λ = 226 nm) nachgewiesen. Die Neutralteilchentemperatur wird aus der Doppler-Verbreiterung der Absorptionsline bestimmt. Erste Ergebnisse weisen auf eine vergleichsweise hohe Neutralteilchentemperatur (> 1000 K) hin. Mit Hilfe einer Vergleichsmessung an einem spektral benachbarten Xenon Zweiphotonenübergang wird der Dissoziationsgrad des Plasmas bestimmt. Es wird über ortsaufgelöste Dichteverteilungen sowie über Parametervariationen (Druck, Gasfluß) berichtet.