Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.19: Poster

Tuesday, March 4, 1997, 18:00–20:00, Foyer

Dichtemessung von Kohlenwasserstoffen in Ar/H₂/CH₄-HF– und Mikrowellenplasmen mittels IR-Absorptionspektroskopie — •M. Käning¹, J. Röpcke¹, W. Y. Fan², P. B. Davies² und A. Ohl¹ — ¹Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik, Greifswald, Germany — ²University Chemical Laboratory, Lensfield Road, Cambridge CB2 1EW, U. K.

Die Dichtemessung polyatomarer Moleküle und Radikale in stoßbestimmten chemisch aktiven Plasmen ist von besonderer Wichtigkeit für die Analyse der Reaktionskinetk. Die IR–Absorptionsspektroskopie mit Hilfe durchstimmbarer Laserdioden (TDLAS) im Bereich von ca. 3-17 µm ist eine der wenigen Techniken, die eine Dichtebestimmung dieser Spezies bei hoher spektraler Auflösung und Empfindlichkeit ermöglichen. Vorgestellt werden Ergebnisse der Konzentrationsmessungen von Kohlenwasserstoffen, wie Ethan, Ethen, Ethin, sowie des Methylradikals in Ar/H₂/CH₄-HF– und Mikrowellenmischgasplasmen bei kleinen Zumischungen von reaktiven Gasen, wie z.B. Sauerstoff und Stickstoff. Im besonderen wird ein signifikanter Anstieg der Methylradikalkonzentration bei geringen Sauerstoffzumischungen gefunden.