Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 14: Postersitzung II
P 14.20: Poster
Dienstag, 4. März 1997, 18:00–20:00, Foyer
Abhängigkeiten des Einflusses molekularer Beimischungen zum Arbeitsgas auf Sondenkennlinien bei RF-Entladungen — •V. Schulz-von der Gathen, D. Luggenhölscher, M. Müller und H.F. Döbele — Institut f. Laser- und Plasmaphysik, Uni GH Essen, 45117 Essen
Bei der Auswertung von Sondenkennlinien in molekularen Gasen werden Strukturen in den Elektronenenergieverteilungsfunktionen beobachtet, die auf metastabile oder Vibrationszustände zurückgeführt werden können [1].
Mit den hier vorgestellten Untersuchungen soll geklärt werden, wie stark sich dies auf Kennlinien in Gasgemischen auswirkt, in denen die geänderte Gaszusammensetzung zusätzlich auch die Sondenanpassung und damit die Qualität der Messung beeinflussen kann. In einer kapazitiv gekoppelten 13.56 MHz RF-Entladung wurden deshalb mit einem passiven 12-bit Langmuir- Sondenmeßsystem Elektronenenergieverteilungen untersucht. Gemessen wurde in der Mittelebene zwischen den in 4 cm Abstand befindlichen 10 cm durchmessenden Edelstahl-Elektroden bei Gesamtdrücken von 10 bis 100 Pa und elektrischen Leistungen zwischen 20 und 100 W. Untersucht wurden Effekte, die durch die gezielte Beimischung von O2 und N2 zum Ausgangsplasma hervorgerufen werden. Das Mischungsverhältnis im Bereich von 1 bis 50 % wurde mit Hilfe von Massendurchflußreglern kontrolliert.
[1] M.M. Turner and M. Hopkins, Phys.Rev.Lett., 69 (1992) 3511