Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.21: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 18:00–20:00, Foyer

Laserinduzierte Fluoreszenz an RF-Plasmarandschichten — •B. Krames, T. Glenewinkel-Meyer, H. Frank und J. Meichsner — Institut für Physik, Gasentladungs- und Ionenphysik, Technische Universität Chemnitz, D-09107 Chemnitz

Zur Erweiterung der bisherigen plasmadiagnostischen Hilfsmittel, z.B. Optische-Emissions-Spektroskopie (OES), Langmuirsonden sowie Ionenanalytik mit energieselektiver Massenspektrometrie, wurde eine Messapparatur zur Laserinduzierten-Fluoreszenz-Spektroskopie (LIF) aufgebaut. Mit der hohen erreichbaren räumlichen (250 µ m) und spektralen Auflösung (0.08 cm⁻¹) eignet sich dieses Verfahren hervorragend zur Untersuchung räumlicher Dichteverteilungen an der für die Wechselwirkung mit den Oberflächen wichtigen Plasmarandschicht. In dieser Arbeit werden vorzugsweise Ergebnisse, die mit Hilfe der LIF an Stickstoff- und Sauerstoffplasmen erbracht wurden, vorgestellt. Alle Messungen beziehen sich auf Niederdruckgasentladungen bei HF-Anregung (27,12 MHz). Präsentiert werden räumliche Dichteverteilungen unterschiedlicher Spezies im O₂ bzw. N₂-Plasma sowie ihre Abhängigkeiten von Plasmaparametern. Axiale Dichteverteilungen des N₂(B³Π_g,v=0) zeigen z.B. eine deutliche Abhängigkeit vom gewählten Quantenzustand. Hauptsächlich wurden neutrale Teilchen (elektronisch angeregte Moleküle, Radikale) untersucht, bei denen der Zugang mittels anderer diagnostischer Verfahren nur schwer möglich ist.