Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.22: Poster

Tuesday, March 4, 1997, 18:00–20:00, Foyer

Diagnostik, Simulation und Abscheidung von Diamantschichten in einem planaren, induktiv gekoppelten HF-Plasmareaktor (ICP) — •Roland Schwefel, Peter Scheubert und Peter Awakowicz — Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Technische Universität München

Das Konzept des planaren, induktiv gekoppelten HF-Reaktors zur Diamantsynthese wird vorgestellt. Durch einen Farradaypolarisator konnten die üblicherweise bei HF-Plasmen auftretenden hohen Ionenenergien vermieden werden. Mittels des geerdeten Polarisators konnte die maximale Ionenenergie auf ca. ein Sechstel des ursprünglichen Wertes gesenkt werden. Sowohl in Argon als auch in reaktiven Plasmen wurden die Plasmaparameter ortsaufgelößt durch Langmuirsondenmessung und Energie- und Massenspektroskopie bestimmt. Basierend auf der hieraus erhaltenen Elektronendichteverteilung sowie einer errechneten Verteilung des elektrischen Feldes wurde die Leistungsdichte im Inneren des Reaktors abgeschätzt und mit den in Mikrowellenreaktoren üblichen Werten verglichen. Unter wohlbekannten Plasmaparametern (Elektronendichte, Elektronenenergie, Plasmapotential, Ionenenergien) wurden auf Bornitrid- und <100>-Siliziumsubstraten Diamantschichten abgeschieden. Eine Charakterisierung dieser Schichten erfolgte mittels Lichtmikroskopie, REM und Ramanspektroskopie.