Mainz 1997 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 14: Postersitzung II
P 14.25: Poster
Tuesday, March 4, 1997, 18:00–20:00, Foyer
3D-Strahl-Diagnostik einer kapazitiv gekoppelten HF-Ionenquelle — •M. Friedrichs, H.M. Keller, D. Korzec und J. Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal
Die untersuchte kapazitiv gekoppelte
Hochfrequenz-Ionenquelle (HFQ 1303) [1] mit zylindersymmetrischer
HF-Anregung und niederenergetischem Extraktionssystem wird für
unterschiedliche Prozesse additiver und subtraktiver Art
eingesetzt. Bei solchen Anwendungen wird ein homogener meist
niederenergetischer Ionenstrahl benötigt. Mit Hilfe eines
frei beweglichen Faraday-Cups bzw. eines Retarding Field Analysers
wurden hochaufgelöste 3D-Strahlprofile der Ionen- und
Elektronenstromdichte aufgenommen.
Diese Ergebnisse erlauben
Aussagen über die Homogenität, die Strahldivergenz und die
Langzeitstabilität der Quelle und können zu Verbesserungen der
Strahleigenschaften durch Quellen- oder Extraktionsoptikänderungen
führen. Untersucht wurde die Auswirkung von Extraktionsoptikdefekten,
dejustierten Optiken und die verstärkt bei niedrigen
Extraktionsenergien
gleichzeitig mit den Ionen extrahierten Elektronen und deren
Reduzierung.
Dieser Effekt wurde bereits zuvor anhand von 1D-Messungen untersucht,
die
vorgestellten 3D-Profile führen jedoch zu abweichenden Resultaten.
[1] D. Korzec, Fortschrittberichte VDI, Reihe 9: Elektronik, Nr. 160, VDI Verlag, ISBN 3-18-146009-5, Düsseldorf