Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 15: Plasmadiagnostik II

P 15.3: Vortrag

Mittwoch, 5. März 1997, 11:45–12:00, P 11

Bestimmung der elektrodennahen elektrischen Feldstärkeverteilung in einer GEC-Zelle — •U. Czarnetzki, H.F. Döbele, D. Luggenhölscher und D. Wagner — Institut f. Laser- und Plasmaphysik, Uni GH Essen, 45117 Essen

Die elektrische Feldverstärkeverteilung in der Plasmarandschicht spielt eine Schlüsselrolle beim Verständnis der Vorgänge in der Schicht und der Wechselwirkung des Plasmas mit Oberflächen und Substraten. Im vorgestellten Experiment wird die Feldstärkeverteilung in der Randschicht einer asymmetrischen, kapazitiv gekoppelten RF-Entladung in Helium mit laserspektroskopischen Methoden vermessen. Dazu leuchtet ein 5 mm durchmessender Laserstrahl um 320 nm den Bereich direkt unterhalb der getriebenen Elektrode aus. Der Laser regt dabei Heliumatome, die sich im metastabilen 2s-Zustand befinden, in einen hochliegenden Rydberg-Zustand (n=11) an. Entsprechend der lokalen Feldstärke sind die Rydberg-Zustände durch den Stark-Effekt aufgespalten. Durch Abstimmung der Laserfrequenz ueber diese Resonanzen und gleichzeitige Beobachtung des in der Folge entstehenden Fluoreszenzlichtes kann die Aufspaltung vermessen werden. Die Beobachtung erfolgt senkrecht zur Strahlrichtung mit einer CCD-Kamera. Damit ist eine simultane, ortsaufgelöste Messung der Feldstärkeverteilung in der gesamten Randschicht möglich. Ergebnisse für verschiedene Entladungsparameter werden vorgestellt.