Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 2: Plasmatechnologie I

P 2.3: Talk

Monday, March 3, 1997, 14:45–15:00, P 11

Massenspektrometrische Bestimmung der Neutralgaszusam-mensetzung in einem Methan–ECR–Plasma — •P. Pecher und W. Jacob — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München

Für das Verständnis der Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten (a–C:H) aus Methan–Niederdruck–Plasmen ist die Kenntnis der Vorgänge im Plasma von grundlegender Bedeutung. Die Gaszusammensetzung gibt Hinweise auf die im Plasma ablaufenden Prozesse und ist für die kritische Überprüfung von Plasmamodellierungen von Interesse. Gängige Modelle für das Schichtwachstum nehmen an, daß das CH₃ Radikal von entscheidender Bedeutung ist.

Die Zusammensetzung des Neutralgases in einem Methan–ECR–Plas-ma wurde in Abhängigkeit von Druck, Gasfluß und HF-Leistung quantitativ bestimmt. Die relative Zusammensetzung des Neutralgases ist weitgehend unabhängig vom Druck. Mit steigender Leistung und fallendem Gasfluß nimmt jedoch der Anteil an Wasserstoff stark zu. Mittels der Ionisationsschwellenmassenspektrometrie wurden die CH₃–Radikalenflüsse aus dem Plasma in Abhängigkeit vom Druck und HF–Leistung quantitativ gemessen.