Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 22: Plasmadiagnostik IV

P 22.4: Talk

Thursday, March 6, 1997, 14:45–15:00, P 11

Untersuchung eines gepulsten Mikrowellenplasmas durch zeitaufgelöste elektrische und spektroskopische Meßmethoden — •A. Georg, St. Behle, A. Brockhaus und J. Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Bergische Universität Gesamthochschule Wuppertal, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal

Eine an unserem Institut entwickelte ringförmige Mikrowellenplasmaquelle (SLAN) wurde im gepulsten Betrieb untersucht. In einem reinen Sauerstoffplasma wurde die räumliche und zeitliche Entwicklung der Dichte von angeregtem atomaren Sauerstoff (3p³P) durch planare optische Emissionsspektroskopie, sowie der zeitliche Verlauf der Elektronendichte und -temperatur durch Langmuirsondenmessungen bestimmt. Zu diesem Zweck wurde die Entladung mit einer gatebaren ICCD-Kamera beobachtet, die durch ein Interferenzfilter auf die Fluoreszenz angeregten atomaren Sauerstoffs bei 845 nm spektral eingeengt wurde [1]. In der Startphase der Entladung findet eine azimutale Ausbreitung des Plasmas statt, die zur Bildung einer ringförmigen Struktur in der Plasmaquelle führt. Mittels Sondenmessungen konnte simultan eine charakteristische Überhöhung der Elektronentemperatur nachgewiesen werden. Die Ergebnisse werden anhand eines einfachen Ratengleichungssystems diskutiert.

[1] St. Behle, A. Georg, Y. Yuan, J. Engemann, A. Brockhaus Surface and Coating Technology 1996 (submitted)