Mainz 1997 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 4: Plasmadiagnostik I

P 4.5: Talk

Monday, March 3, 1997, 15:00–15:15, P 204

Sondenmessungen im Afterglow einer HF-Entladung — •Siegmar Rudakowski, Andreas Remscheid und Klaus Wiesemann — Experimentalphysik insbes. Gaselektronik, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum

Im Afterglow einer reaktiven HF-Entladung (13.56MHz) wurden zeit- aufgelöste Landmuir-Sondemessungen mit einer heizbaren Sonde in Kohlenstoff enthaltenden Plasmen durchgeführt. Die Entladung wurde dazu mit einer Frequenz von 2Hz moduliert und der Sonden- strom für unterschiedliche Sondenspannungen zwischen -50V und +50 V als Funktion der Zeit nach dem Ausschlten der HF-Leistung gemessen. Es zeigte sich, das wenige Millisekunden nach dem Aus- schalten die Sättigungsströme positiver und negativer Ladungs- träger zur Sonde nahezu gleich sind. Dies erlaubt Aussagen über das Massenverhältnis.