Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 6: Plasmatechnologie II

P 6.1: Vortrag

Montag, 3. März 1997, 16:00–16:15, P 11

Barrierenentladungen als neues flexibles Werkzeug der Plasmachemie — •K. Pochner und W. Neff — Fraunhofer-Institut für Lasertechnik, Aachen

Aufgrund der einfachen Erzeugung bei Atmosphärendruck besitzen Barrierenentladungen eine hohe technologische Attraktivität. Anhand so verschiedener Anwendungsbeispiele wie Abtrag von Deckschichten, Funktionalisieren von Kunststoffen, Bildung von Excimer-Molekülen, Sterilisieren medizinischer Materialien, Reinigung von Abwässern und Nachbehandlung von Verbrennungsabgasen werden Anforderungen an die Auslegung der Gasentladung herausgearbeitet. Die große Bandbreite umfaßt sowohl thermische Wechselwirkungen, wie auch kalte (nichtthermische) reduktive und oxidative chemische Reaktionen. Von Fall zu Fall soll die Entladung entweder lokalisiert oder auf großer Fläche homogen einwirken. Durch Problemlösungen bei der Entladungsgeometrie (Spaltabstände, glatte oder geformte Elektrodenflächen), der Elektrodenbauart (Plasma- und Wasserelektroden), der Art der Einwirkung auf das Medium (direkt oder indirekt mittels geströmter Düsen) und der elektrischen Anregung können die verschiedenen Anforderungen erfüllt werden. Die Anpassung an Zeitkonstanten im Plasma und an Leistungsgrenzen der Barrierenentladung wird diskutiert.