Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

CP: Chemische Physik

CP 18: Poster zur Sitzung CP 7(Fortführung am Do, 9:30-10:30)

CP 18.3: Poster

Mittwoch, 19. März 1997, 18:30–19:45, FBH

Elektroneninduzierte Strahlenschäden bei Hexadecanthiol auf Gold — •B. Völkel, H. U. Müller, C. David, A. Gölzhäuser und M. Grunze — Angewandte Physikalische Chemie, Universität Heidelberg, Im Neuenheimer Feld 253, D-69120 Heidelberg

Monolagen selbstorganisierender Moleküle (Self Assembled Monolayers, SAM) sind vielversprechende Kandidaten als Resist für die hochauflösende Elektronenlithographie. In einer Nahsondenapparatur [1] haben wir auf eine Goldoberfläche aufgebrachte SAMs aus Hexadecanthiol mit niederenergetischen Elektronen (ca. 30 eV) belichtet. Im anschliessenden naßchemischen Ätzprozeß (KCN-Lösung) konnten dann Goldstrukturen von 25 nm Breite hergestellt werden. Um die Grundlagen des elektroneninduzierten Kontrastmechanismus auf molekularer Ebene zu verstehen, wurden Hexadecanthiolfilme großflächig belichtet und anschließend mit Infrarot- und Röntgenabsorptionsspektroskopie (IRRAS und NEXAFS) untersucht. Dabei zeigte sich, daß die Entstehung polarer Oberflächengruppen und die Existenz von Inhomogenitäten in der Packungsdichte der Filme für den Kontrast verantwortlich sind.

[1] H. U. Müller, C. David, B. Völkel, M. Grunze J. Vac. Sci. Technol. 13(6), 2846 (1995)