Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 10: Diamant II

DS 10.1: Talk

Monday, March 17, 1997, 16:30–16:45, PC 7

Plasma–CVD von Diamantscheiben für optische und thermische Anwendungen — •M. Füner, W. Müller-Sebert, E. Wörner, C. Wild und P. Koidl — Fraunhofer–Institut für Angewandte Festkörperphysik, Tullastraße 72, D-79108 Freiburg

Wir berichten über die Herstellung freistehender, transparenter, glatter Diamantscheiben mit Durchmessern bis zu 75 mm. Die Abscheidung dieser Scheiben erfolgt in einem Mikrowellen–Plasmareaktor, der durch numerische Simulationsrechnungen in bezug auf die Plasmahomogenität und – stabilität optimiert wurde. Verschiedene Bearbeitungsverfahren, wie z.B. Schleifen, Polieren, Laserschneiden und Metallisieren werden eingesetzt. Die optischen und thermischen Eigenschaften dieser Scheiben werden vorgestellt. Sie hängen kritisch von den Wachstumsbedingungen, insbesondere von der Zusammensetzung des Prozeßgases ab. Die unter optimalen Bedingungen hergestellten Scheiben sind in ihren Eigenschaften vergleichbar mit perfekten Naturdiamanten vom Typ IIa. Mögliche Anwendungen werden diskutiert.