Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 12: Harte Schichten I

Dienstag, 18. März 1997, 10:15–11:15, PC 7

	10:15	DS 12.1	Untersuchung der chemischen Struktur von zerstäubungsdeponierten amorphen Silizium-Kohlenstoff-Schichten — •U. Littmark und M. Klonek
	10:30	DS 12.2	Zersetzung von verschiedenartig deponierten Kohlenstoff-Schichten und von sputterdeponiertem amorphen SiC auf Molybdän — •U. Littmark
	10:45	DS 12.3	Untersuchungen zur gespeicherten Energie in plasmaabgeschiedenen TiNx Schichten — •C. Eggs, H. Wulff und R. Hippler
	11:00	DS 12.4	Deposition von TiN-Schichten bei Zimmertemperatur — •You Qiang, H. Haberland, B. Knühl, J. Kraft, O. Rattunde und T. Reiners