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DS: Dünne Schichten

DS 13: Mechanische und elektrische Eigenschaften

DS 13.5: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 11:15–11:30, H 55

Elektrische Eigenschaften von Plasmapolymerschichten aus verschiedenen Monomeren — •M. Gruner und A. Kiesow, A. Heilmann — Technische Universität Chemnitz-Zwickau, Institut für = Physik, Lehrstuhl Gasentladungs- und Ionenphysik, 90127 Chemnitz

Plasmapolymerschichten aus verschiedenenen Monomeren(Chlorbenzol, Hexamethyldisilazan, Thiophen) wurden mit Hilfe einer a.c. (50 Hz) oder einer r.f. (13,56 Mhz) Plasmaentladung hergestellt und dabei die Herstellungsbedingungen hinsichtlichder Leistungsdichte und der Monomerdurchflußrate variiert. Die elektrischen Gleichstromleitfähigkeiten der Schichtenwurden an Proben mit Sandwichstrukturen als auch an Proben mit einer Spaltgeometrie anhand von Strom-Spannung-Kennlinien bestimmt. F?r den Leitfähigkeitsmechanismus werden verschiedene Modelle zur Ladungsträgergeneration und zum Ladungsträgertransport(Raumladungsbregrenzte Ströme) diskutiert. Eine zusätzliche Einlagerung von Metallnanopartikeln führt durch dasthermisch aktivierte Tunneln zwischen den Metallpartikelnzu einer Leitfähigkeitserhöhung.