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DS: Dünne Schichten

DS 16: Multilayer

DS 16.5: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 12:45–13:00, H 55

Struktur und thermische Stabilität von Al₂O₃/C-Multilagen — •M. Veldkamp¹, Ch. Morawe² und H. Zabel¹ — ¹Inst. für Experimentalphysik/Festkorperphysik, Ruhr-Universität Bochum D-44780 Bochum — ²ESRF, BP 220, 38043 Grenoble/Cedex, France

Mittels rf- und rf-Magnetron-Sputtertechnik haben wir Multilagen- Schichtsysteme aus C und Al₂O₃ hergestellt. Aufgrund ihrer optischen Eigenschaften könnten diese als Hochtemperatur-Röntgenspiegel für den weichen Röntgenbereich geeignet sein. Als Substrate kamen Saphir [1120] und Silizium [100] zum Einsatz. Proben mit einer Periode von etwa 2.2 nm zeigen im harten Kleinwinkel- Röntgenbereich immer noch Überstrukturreflexe. Somit wäre es möglich, einen Röntgenspiegel für senkrechten Einfall bei 4.4 nm Wellenlänge herzustellen.
Die Änderung der Mikrostruktur des Schichtstapels mit wachsender Temperatur wurde mit Hilfe von Klein- und Großwinkel Röntgenstreuung, Leitfähigkeitsmessungen sowie Raman-Spektroskopie charakterisiert. In-situ Widerstandsmessungen ergänzen die Untersuchungen. Durch die Tatsache, daß beide Konstituenten während der Temperaturbehandlung amorph bleiben ist die thermische Stabilität unserer Proben sehr hoch. Der Schichtstapel ist selbst nach einer Stunde Tempern bei 1100^∘ C vollkommen intakt, die Reflektivität erhöht sich hierdurch sogar.