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DS: Dünne Schichten
DS 18: Harte Schichten III
DS 18.1: Vortrag
Dienstag, 18. März 1997, 15:15–15:30, PC 7
Thermisch–induzierte, strukturelle Änderungen an plasma-deponierten Kohlenwasserstoffschichten — •W. Jacob, F.–P. Bach und R. Beckmann — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München
Wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten (C:H) wurden über einen weiten Parameterbereich aus Methan–Plasmen abgeschieden und anschließend mit Hochenergie–Ionenstrahl–Analyse (IBA), Infrarot– (FTIR) und thermischer Desorptionsspektroskopie (TDS) untersucht. Bei hartenSchichten ist H2 das dominante TDS-Signal mit Maxima bei etwa 850 und 1150 K und trägt zu etwa 90% zur gesamten Wasserstoffdesorption bei. CH4 desorbiert ebenfalls bei etwa 850 K. Bei weichen Schichten dominieren CxHy Spezies die Gesamtdesorption, die schon bei Temperaturen ab etwa 600 K erfolgt. TDS gibt keinerlei Hinweise auf die Existenz größerer Mengen an ungebundenem H2 in den Schichten. Zur weiteren Untersuchung der thermisch–induzierten Änderungen wurden die Proben auf charakteristische Temperaturen erhitzt und nachfolgend mit IBA und FTIR vermessen. Es zeigt sich, daß das Integral über die CH–Vibrationsbande bei etwa 3000 cm−1 keinen einfachen, linearen Zusammenhang mit dem H-Gehalt aufweist, wie es häufig in der Literatur angenommen wird. Die Analyse der IS–Spektren der getemperten Proben liefert deutliche Hinweise zu deren quantitativer Interpretation.