DS 18: Harte Schichten III
Tuesday, March 18, 1997, 15:15–16:15, PC 7
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15:15 |
DS 18.1 |
Thermisch–induzierte, strukturelle Änderungen an plasma-deponierten Kohlenwasserstoffschichten — •W. Jacob, F.–P. Bach und R. Beckmann
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15:30 |
DS 18.2 |
Erosion von a–C:H-Schichten in O2, H2O, und O2/H2 Plasmen: Erosionsmessungen, Massenspektrometrie und Oberflächen-analytik — •Bernhard Landkammer, Achim von Keudell und Wolfgang Jacob
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15:45 |
DS 18.3 |
Eigenschaften amorpher hydrogenisierter Bor (a–B:H) Schichten — •A. Annen, M. Sass und W. Jacob
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16:00 |
DS 18.4 |
Zusammensetzung, Struktur und Erosionsverhalten amorpher hydrogenisierter Bor–Kohlenstoff (a–B/C:H) Schichten — •A. Annen, A. von Keudell, M. Sass und W. Jacob
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