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Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 2: YSZ

DS 2.3: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 10:45–11:00, H 55

Herstellung von biaxial texturierten YSZ-Funktionsschichten auf zylindrisch gekrümmten Substraten mittels IBAD — •J. Dzick1, J. Wiesmann1, J. Hoffmann1, K. Heinemann1, A. Usoskin2, F. Garcia-Moreno2, A. Isaev2 und H.C. Freyhardt1,21Institut für Metallphysik, Hospitalstr. 3-7, 37073 Göttingen — 2Zentrum für Funktionswerkstoffe, Windausweg 2, 37073 Göttingen

Zylindrische Substrate wurden mit einer in-plane texturierten YSZ-Funktionsschicht und anschließend mit einem YBCO-HTSL-Film versehen. Ein Einsatz eines solchen Leiters als Stromleiter oder als HF-Leiter ist denkbar.
Die Herstellung von in-plane texturierten YSZ-Filmen erfolgt durch eine ionenstrahlunterstützte Deposition (IBAD). Im Gegensatz zur Beschichtung planarer Substrate unterliegen zylindrische Substrate aufgrund ihrer Krümmung und der für eine kontinuierliche Beschichtung erforderlichen Rotation ständig wechselnden Depositionsbedingungen. Bei der Deposition der YSZ-Funktionsschichten werden Beschichtungsfenster mit einem Öffnungswinkel von bis zu 100 eingesetzt. Die Qualität der in-plane Textur hängt von der Größe des Beschichtungsfensters ab und nimmt mit steigender Schichtdicke zu. Eine deutliche Verbesserung der in-plane Textur erreicht man durch die Verwendung einer speziellen Keimschicht. Die besten YSZ-Filme auf gekrümmten Substraten erreichen eine Halbwertsbreite im (111)-Φ-scan von < 25. Darauf können YBCO-Filme mit hohen Stromdichten bis zu 2.5·105 A/cm2 (77K, 0T) abgeschieden werden.

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