Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 20: Laserdeposition
DS 20.1: Vortrag
Dienstag, 18. März 1997, 15:15–15:30, ZB
Charakterisierung laser-induzierter CO2 Desorption aus BaCO3 durch TDS — •H. J. Frenck1 und S. Georgiou2 — 1Lehrstuhl für Experimentalphysik, BTU Cottbus, PSF 101344, 03013 Cottbus — 2FORTH-IESL, Heraklion, Griechenland
Ziel der vorliegenden Untersuchungen ist die Beschreibung von Laser/Target Wechselwirkungen, die u. a. in der lasergestützten Deposition eine Rolle spielen. Es gibt eine Reihe von Modellen zur Beschreibung der Wechselwirkung von Laserlicht mit einem Target [1]. Die durch den Laserstrahl eingetragene Energie ändert räumlich homogen das Material, hier BaCO3. Beruht die Laser/Target Wechselwirkung auf einem rein thermischen Prozeß, wird BaCO3 in BaO umgewandelt, während ein reiner Sputterprozeß die Struktur des Materials nicht antastet. Wir verwenden TDS an Bulkproben zur Charakterisierung des Materialabtrags durch Laserablation, da Desorptionsbanden der Spezies Ba und BaO charakteristische Unterschiede bei Desorption aus BaCO3 und BaO zeigen.
BaCO3 wurde mit einem KrF Laser der Wellenlänge 248 nm bestrahlt. Die Fluenz und die eingetragene Energie entsprechen typischen Parametern bei Laserabscheidung. Unsere Ergebnisse zeigen, daß aus, durch Laserbeschuß verändertem, BaCO3 desorbierendes CO2, Ba und BaO dieselben charakteristischen Banden und Aktivierungsenergien zeigt, wie bei Desorption aus unbestrahltem Material.
[1] J. Cheung and J. Horwitz, MRS Bulletin, 17:30, 1992.