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DS: Dünne Schichten

DS 20: Laserdeposition

DS 20.1: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 15:15–15:30, ZB

Charakterisierung laser-induzierter CO₂ Desorption aus BaCO₃ durch TDS — •H. J. Frenck¹ und S. Georgiou² — ¹Lehrstuhl für Experimentalphysik, BTU Cottbus, PSF 101344, 03013 Cottbus — ²FORTH-IESL, Heraklion, Griechenland

Ziel der vorliegenden Untersuchungen ist die Beschreibung von Laser/Target Wechselwirkungen, die u. a. in der lasergestützten Deposition eine Rolle spielen. Es gibt eine Reihe von Modellen zur Beschreibung der Wechselwirkung von Laserlicht mit einem Target [1]. Die durch den Laserstrahl eingetragene Energie ändert räumlich homogen das Material, hier BaCO₃. Beruht die Laser/Target Wechselwirkung auf einem rein thermischen Prozeß, wird BaCO₃ in BaO umgewandelt, während ein reiner Sputterprozeß die Struktur des Materials nicht antastet. Wir verwenden TDS an Bulkproben zur Charakterisierung des Materialabtrags durch Laserablation, da Desorptionsbanden der Spezies Ba und BaO charakteristische Unterschiede bei Desorption aus BaCO₃ und BaO zeigen.

BaCO₃ wurde mit einem KrF Laser der Wellenlänge 248 nm bestrahlt. Die Fluenz und die eingetragene Energie entsprechen typischen Parametern bei Laserabscheidung. Unsere Ergebnisse zeigen, daß aus, durch Laserbeschuß verändertem, BaCO₃ desorbierendes CO₂, Ba und BaO dieselben charakteristischen Banden und Aktivierungsenergien zeigt, wie bei Desorption aus unbestrahltem Material.

[1] J. Cheung and J. Horwitz, MRS Bulletin, 17:30, 1992.