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DS: Dünne Schichten

DS 20: Laserdeposition

Dienstag, 18. März 1997, 15:15–16:00, ZB

	15:15	DS 20.1	Charakterisierung laser-induzierter CO2 Desorption aus BaCO3 durch TDS — •H. J. Frenck und S. Georgiou
	15:30	DS 20.2	Schichtwachstum von Oxidkeramiken bei der Abscheidung mit Excimer-Laserstrahlung — •Jens Schmidt, Andreas Husmann, Thomas Klotzbücher, Ernst Wolfgang Kreutz und Reinhart Poprawe
	15:45	DS 20.3	C-N-Schichten hergestellt mittels Laser-CVD — •Kay Schuster, Fritz Falk und Herbert Stafast