Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 24: Ionenimplantation I

DS 24.2: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 11:15–11:30, H 55

Der Einflu"s von Ionenimplantation auf die tribologischen Eigenschaften von Siliziumnitridkeramik — •F. Brenscheidt, E. Wieser, A. M"ucklich, and W. M"oller — Institut f"ur Ionestrahlphysik und Materialforschung, Forschungszentrum Rossendorf, Postfach 51 01 19, 01314 Dresden

Die tribologischen Eigenschaften keramischer Materialien h"angen stark von der Oberfl"achenbeschaffenheit ab. Daher ist die Ionenimplantation eine geeignete Methode, um diese Eigenschaften gezielt zu verbessern. Es werden Implantationsexperimente mit Chrom und Titan an einer druckgesinterten, polykristallinen Siliziumnitridkeramik vorgestellt. Die tribologischen Tests ergeben, da"s der Verschlei"s des Materials durch die Implantation reduziert wird. Eine Abh"angigkeit von der Ionensorte wird nicht beobachtet. Elektronenmikroskopische Untersuchungen zeigen, da"s durch die Implantation Teile der Oberfl"ache amorphisiert werden. Der Zusammenhang zwischen Mikrostruktur und tribologischen Eigenschaften wird diskutiert.