Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Ionenimplantation I

DS 24.3: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 11:30–11:45, H 55

CEMS- und AES-Untersuchungen an Eisendisiliziden — •M. Dobler, H. Reuther und W. Möller — Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Forschungszentrum Rossendorf, Postfach 51 01 19, 01314 Dresden

Mittels Ionenimplantation bei 350^∘C von Fe-Atomen in Silizium kann das metallische α-FeSi₂ (stabil über 960^∘C) und das halbleitende β-FeSi₂ (stabil unter 960^∘C) erzeugt werden. Die Phasenbildung und Zusammensetzung wurde in Abhängigkeit von den Implantations- und Temperbedingungen untersucht. Die Phasenanalyse erfolgte mit Konversionselektronen-Mößbauer-Spektroskopie (CEMS) und die Fe-Konzentrationsprofile wurden mit Augerelektron-Spektroskopie (AES) bestimmt. Während der Implantation entsteht ein Phasengemisch aus α- und β-FeSi₂, das durch Temperung bei 1150^∘C in die reine α-Phase und bei 900^∘C in die β-Phase überführt werden kann. Untersuchungen mit Scanning-Augerelektronen-Mikroskopie (SAM) zeigen, daß das β-FeSi₂ in großen Präzipitaten und das α-FeSi₂ in Form einer Durchdringungsstruktur vorliegt. Messungen in unterschiedlichen Tiefen zeigen das säulenartige
Wachstum beider Strukturen. Gefördert durch die DFG (Re 868/1-2)