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DS: Dünne Schichten

DS 26: Neue Charakterisierungsverfahren

DS 26.4: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 16:00–16:15, PC 7

Messung von mechanischen Spannungen in dünnen Schichten mit einer 2-Strahl-Lichtzeigerdetektion — •Matthias Bicker, Ulrich von Hülsen und Ulrich Geyer — I. Physikalisches Institut und SFB 345, Universität Göttingen, D-37073 Göttingen

Es wird eine neue Meßapparatur vorgestellt, mit der mechanische Spannungen in situ während des Schichtwachstums gemessen werden können. Verwendet wird eine Zwei-Strahl-Lichtzeigermethode, bei der die Substratkrümmung direkt aus der Ablenkung zweier paralleler Laserstrahlen mit Hilfe zweier positionsempfindlicher Detektoren bestimmt wird. Das verwendete Meßverfahren zeichnet sich durch eine hohe Empfindlichkeit und insbesondere durch seine thermische Stabilität aus. Gezeigt werden Messungen der intrinsischen Spannungen amorpher CuTi-Schichten, die unter UHV-Bedingungen auf Si(100) kokondensiert wurden.