Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 28: Ionenimplantation II

DS 28.1: Vortrag

Freitag, 21. März 1997, 10:15–10:30, PC 7

Gr"oßenabsch"atzung von Thermal Spikes an der Ag/Fe-Grenzfl"ache — •M. Neubauer¹, M. Uhrmacher¹, P. Wodniecki², and K.P. Lieb¹ — ¹II. Phys. Institut, Universit"at G"ottingen, Bunsenstr. 7-9, 37073 G"ottingen und Sonderforschungsbereich 345 — ²H. Niewodniczanski Institute of Nuclear Physics, 31-342 Krakow, Poland

Mit Hilfe der gest"orten γ γ-Winkelkorrelation (PAC) wurden die Umordnungsprozesse an der Grenzfl"ache des nicht mischbaren Systems Ag/Fe nach Ionenbestrahlung mit 450 keV Xe-Ionen studiert [1]. Die ca. 10¹¹ PAC-Sondenatome ¹¹¹In wurden dazu bei der Schichtherstellung als Submonolage in Abst"anden von x=0-17.5 nm in der N"ahe der Grenzschicht durch thermische Verdampfung deponiert. Die Bestrahlung von Schichtsystemen der Geometrie Ag(50 nm)/Fe(x nm)/ ¹¹¹In/Fe(150 nm)//Si f"uhrt zu einem Transport der Sondenatome aus der Fe- in die Ag-Schicht. Diese Auswaschung wird auf die unterschiedlichen chemischen Affinit"aten der ¹¹¹In-Sonden bzgl. Fe und Ag zur"uckgef"uhrt. Unter Ausnutzung dieses Prozesses gelang es die Reichweite der chemischen Triebkr"afte an der Grenzfl"ache zu untersuchen und somit die Gr"oße der lokal aufgeschmolzenen Zone auf r=2-3 nm abzusch"atzen. Außerdem konnte die Ag-Konzentration in der Fe-Schicht nahe der Ag/Fe-Grenzfl"ache (0-17.5 nm) quantitativ bestimmt werden (mittlere Ag-Konzentration 1.2(4) at%).

[1] M. Neubauer, K.P. Lieb, P. Schaaf and M. Uhrmacher, Phys. Rev. B 53 (1996) 10237