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DS: Dünne Schichten
DS 31: Plasma– und Ionentechniken
DS 31.1: Vortrag
Freitag, 21. März 1997, 11:45–12:00, PC 7
Tiefenprofilierung von Wasserstoffisotopen mit Beschleuniger Massenspektrometrie — •W. Möller1, G. Sun1, M. Friedrich1, R. Grötzschel1, W. Bürger1, R. Behrisch2 und C. Garcia-Rosales2 — 1Forschungsinstitut Rossendorf, 01314 Dresden — 2Max-Planck Institut für Plasmaphysik, 85748 Garching
Die Einrichtung zur Beschleuniger Massenspektrometrie am 3 MV Tandem Beschleuniger in Rossendorf wurde zur Messung der sehr kleinen Konzentration von Tritium angewandt, die sich bei Gasentladungen in Deuterium in den Wänden des Entladungsgefäßes ansammeln. Die Wandproben wurden mit Cs+-Ionen zerstäubt und die abgetragenen negativen Sekundärionen magnetisch analysiert und mit einem Faraday Becher gemessen oder in dem Tandem Beschleuniger beschleunigt, in Atomionen aufgespalten und schließlich mit einem Oberflächen Sperrschichtzähler gezählt. Die Verfälschung der Tiefenprofile durch die Zerstäubung von den Rändern der gebildeten Krater wurde durch mechanische Bewegung der Probe, durch geeignete Blenden und durch Zählung nur der Ionen vom Kraterzentrum vollständig unterdrückt. Die Meßeinrichtung wurde mit bekannten Proben geeicht. Die erreichte Empfindlichkeit für den Tritiumnachweis in Kohlenstoff liegt bei Konzentrationen von cT/cC von 10−12, entsprechend etwa 1011 T/cm3. Das in den Proben außerdem aufgesammelte Deuterium wurde am Eingang des Beschleunigers über konventionelles SIMS gemessen.