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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.23: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

Röntgenfeinstrukturuntersuchungen an gesputterten Molybdänschichten — •M. Löhmann, F. Klabunde, J. Bläsing, T. Hempel, P. Veit und T.P. Drüsedau — Institut für Experimentelle Physik, Otto-von-Guericke-Universität, Postfach 4120, 39016 Magdeburg

Molybdänschichten mit Dicken von 20 nm bis 3 µm wurden mittels Magnetronsputtern bei geringen Raten (von ca. 0.7 Å/s) abgeschieden. Die Schichten wurden mittels Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert. Es ist möglich, Molybdän im Druckbereich von 0,45 bis 4,7 Pa Argon mit Dichten von 98 % bis 48 % der Dichte des kompakten Molybdäns herzustellen. Während des Wachstums der kompakten Molybdänschichten vollzieht sich ein Umschlagen der Textur. Mit der Zunahme der Schichtdicke erfolgt ein Übergang von der bekannten (110) Textur zur (211) Textur. Die Kleinwinkelstreuung zeigt die Existenz von Hohlräumen (Nanovoids), die parallel zur Schichtnormalen ausgerichtet sind. Kraftmikroskopie (AFM) und Elektronenmikroskopie (SEM, TEM) bestätigen die Existenz einer Säulenstruktur in den Schichten, wobei die Säulen der porösen Schichten frei stehen.