Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.28: Poster
Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula
Korrelation von Oberflächentopologie und Schichtwachstum in gesputterten Viellagenschichten — •J. Langer1, R. Mattheis1, S. Schmidt1, S. Bornmann1 und St. Senz2 — 1IPHT Jena e.V., Postfach 100 239, D-07702 Jena — 2MPI Halle, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale
In Viellagensystemen, wie sie für neuartige magnetoresitive Sensoren vorgesehen sind, ist das Wachstum der einzelnen Lagen und deren vertikale Korrelation entscheidend für die Ausprägung der physikalischen Eigenschaften. In dieser Arbeit werden Beispiele angegeben, bei denen aus der mit dem AFM bestimmten Oberflächentopologie Rückschlüsse auf den Wachstumsprozess in Viellagenschichten gezogen werden können. In aus kristallinen Einzellagen aufgebauten Co/Cu Viellagenstapeln wird eine mit einem kolumnaren Wachstum erklärbare Oberflächentopografie gefunden. Viellagenschichten die aus amorphen und kristallinen Einzellagen (CoZr/Cu) bestehen, reproduzieren im wesentlichen die Oberflächenstruktur des Substrates. Diese Beobachtungen decken sich mit TEM-Querschnittsuntersuchungen.
Wir danken R. Fischer (Uni Regensburg) und U. Lang (IPHT Jena) für TEM bzw. AFM Messungen.