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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.38: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 16:15–17:45, Aula

Der Einfluß von Korngrenzen auf die thermische Leitfähigkeit von CVD-Diamantschichten — •J. Hartmann¹, M. Reichling¹ und T. Klotzbücher² — ¹Fachbereich Physik, Freie Universität Berlin — ²Lehrstuhl für Lasertechnik, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen

Eine wichtige Anwendung polykristalliner Diamantschichten in der Mikroelektronik ist ihr Einsatz als Wärmesenken, wofür eine hohe laterale thermische Leitfähigkeit von entscheidender Bedeutung ist. Es wird gezeigt, daß die thermischen Eigenschaften qualitativ hochwertiger CVD-Diamantschichten von thermischen Barrieren bestimmt wird, die an den Korngrenzen lokalisiert sind. Mit Hilfe einfacher Modelle kann aus den mikroskopischen Wärmeleitungseigenschaften die makroskopisch ermittelte Wärmeleitfähigkeit für verschiedene Wärmeflußgeometrien vorhergesagt werden. Die thermischen Eigenschaften innerhalb eines Korns schwanken nur geringfügig, da Defekte vorwiegend an Korngrenzen angelagert sind. Dies wird bestätigt durch Mikro-Raman-Messungen, die eine Beurteilung der Kristallqualität mit Mikrometerauflösung ermöglicht.