Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.41: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Herstellung von Diamantcantilevern mit integrierten Diamantspitzen für AFM–Messungen — •W. Kulisch, D. Albert, A. Malave, C. Mihalcea, W. Scholz und E. Oesterschulze — Institut für Technische Physik, Universität Kassel, Heinrich Plett–Str. 40, D-34109 Kassel

In unserem Beitrag wird ein Prozeß beschrieben, der die Herstellung von Diamantcantilevern mit integrierten Diamantspitzen für AFM–Messungen ermöglicht. Auf diese Weise wird die Härte von Diamant ausgenutzt, um den bei AFM–Messungen an harten Substraten üblicherweise auftretenden Verschleiß der Spitzen zu vermeiden. Der Herstellungsprozeß beruht auf der Abformtechnik und benutzt neben der Diamantabscheidung durch HFCVD bzw. MWCVD ausschließlich Standardverfahren der Silizium–Mikrosystemtechnologie. Cantilever und Spitzen werden mit Hilfe von SEM–Aufnahmen und Ramanmessungen eingehend charakterisiert. Schließlich wird die Tauglichkeit dieser Diamantcantilever/Spitzen anhand von AFM–Messungen an Diamantoberflächen demonstriert.