Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.42: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

In situ–Tunnelmikroskopie zur Charakterierung der Diamantabscheidung — •Ludger Ackermann and Wilhelm Kulisch — Institut f"ur Technische Physik, Universit"at Kassel, Heinrich Plett–Str. 40, D-34109 Kassel

In unserem Beitrag wird der Aufbau eines Tunnelmikroskops beschrieben, das die Durchf"uhrung von in situ–STM–Messungen w"ahrend der Hot–Filament–Abscheidung von Diamant erlaubt. Dabei werden technologisch relevante Proze"sbedingungen (Substrattemperatur, Filamenttemperatur, Druck, Gaszusammensetzungen) verwendet. Anhand von Testmessungen wird demonstriert, da"s trotz dieser experimentell schwierigen Bedingungen die Aufnahme von STM–Bildern m"oglich ist. Schlie"slich werden erste in situ–STM–Messungen zur Untersuchung der elementaren Mechanismen der Nukleation und des Wachstums von Diamant vorgestellt.