Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.43: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Gezielte Erzeugung verschiedener Texturen durch photonen- und ionengestützte Abscheidung am Beispiel von Titannitrid — •J.W. Gerlach, M. Zeitler, T. Kraus, B. Stritzker und B. Rauschenbach — Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg

Die Textur von polykristallinen dünnen Aufdampfschichten kann durch Ionenbeschuß während des Aufwachsens nachhaltig beeinflußt werden. In Abhängigkeit vom Ioneneinfallswinkel und von der Ionenstromdichte können sowohl Fasertexturen, als auch biaxiale Texturen verschiedenster Orientierung ({111}, {011}, {001}) erzeugt werden. Dabei zeigt sich auch eine Schichtdickenabhängigkeit der Textur. Am Beispiel von Titannitridschichten auf Silizium werden anhand von Röntgen-Polfiguren die verschiedenen Einflüsse auf die Textur gezeigt und diskutiert. Die Schichten wurden durch Verdampfen von Titan mit einer Depositionsrate von 0,33 nm/s unter simultanem 2 keV-Stickstoffionenbeschuß mit Ionenstromdichten von bis zu 100 µ A/cm² und simultaner UV-Licht-Bestrahlung bei Raumtemperatur hergestellt. Die Schichtdicken variierten von 200 nm bis 500 nm.