Münster 1997 – scientific programme

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.44: Poster

Tuesday, March 18, 1997, 16:15–17:45, Aula

Molekulardynamik-Studie zur Subplantation von Kohlenstoff in ta-C — •Sylke Uhlmann und Thomas Frauenheim — Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 09107 Chemnitz

Tetraedrisch-gebundener amorpher Kohlenstoff (ta-C) wird unter Beteiligung von Ionen mit Energien zwischen 30 und 600 eV abgeschieden. Dieser Beitrag stellt Resultate von MD-Simulationen vor, die sich mit Eindringschwellen, -mechanismen, -tiefen sowie der Energie- Abhängigkeit von Strukturveränderungen in ta-C unter Kohlenstoff-Beschuß
beschäftigen. Das Potential basiert auf einer Dichtefunktional- Tight-
Binding-Methode. Die Oberfläche von einer 214-atomigen a-C Struktur ist durch kettenartige und graphitische Strukturen gekennzeichnet. Einzel- und Folgetrajektorien von C-Atomen mit unterschiedlichen Energien zwischen 10 und 100 eV, unterschiedlichen Auftreffpunkten liefern Aussagen zu den Eindringtiefen und energetischen Eindringschwellen. Für 40 und 80 eV wurden jeweils Folgen von 20 Beschüssen gerechnet. C-Atome dringen über offene Gebiete in der Oberfläche (E_p=5…10 eV) ein, wobei keine klare Barriere beobachtet werden kann. Eine Verdichtung tiefliegender Schichten (<6 Å) wird ab 80 eV beobachtet.