Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 4: BN II

DS 4.3: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 12:15–12:30, PC 7

Stabilität der kubischen Phase ionenunterstützt gewachsener c-BN Filme gegen mittelenergetische Ionenbestrahlung — •P. Widmayer, R. Durner, B. Heinz und P. Ziemann — Universität Ulm, Abteilung Festkörperphysik, 89069 Ulm

Ziel dieser Arbeit war einerseits die Untersuchung der Stabilität der kubischen Bornitrid-Phase (c-BN) unter Ionenbestrahlung, andererseits die Demonstration der Zuverlässigkeit der Methode der Elektronen-Energieverlustspektroskopie in Reflexion (REELS) zu deren Nachweis. Hierbei stützt man sich auf den experimentell gut auflösbaren Unterschied der Plasmonenenergien in hexagonalem bzw. kubischem BN.

Experimentell wurden h-BN und c-BN Filme (typische Dicke 150 nm) durch ionenunterstützte Deposition (IBAD) hergestellt (primärer Ionenstrahl 1.5 keV Ar⁺, sekundärer Ionenstrahl 300 eV Ar⁺/N₂⁺) und anschließend bei Raumtemperatur mit Kr⁺-Ionen der Energie 350 keV schrittweise bis zu Fluenzen von 1.5× 10¹⁴ cm⁻² bestrahlt. REELS-Spektren, die vor und nach jedem einzelnen Bestrahlungsschritt aufgenommen wurden, zeigen in Übereinstimmung mit zusätzlich aufgenommenen IR-Transmissionsspektren eindeutig die Stabilität der kubischen Phase unter mittelenergetischer Ionenbestrahlung.