DS 4: BN II
Montag, 17. März 1997, 11:45–12:45, PC 7
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11:45 |
DS 4.1 |
Abscheidung von Bornitridschichten in einem CVD-Verfahren mit fluorhaltigen Precursor-Gasen — •Frank Hentschel, Carsten Wochnowski und Carsten Benndorf
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12:00 |
DS 4.2 |
Elektrische Eigenschaften und thermische Stabilität ionenstrahldeponierter BN-Schichten — •M. Sebastian, H. Feldermann, C. Ronning, E. Dreher, M. Gross und H. Hofsäss
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12:15 |
DS 4.3 |
Stabilität der kubischen Phase ionenunterstützt gewachsener c-BN Filme gegen mittelenergetische Ionenbestrahlung — •P. Widmayer, R. Durner, B. Heinz und P. Ziemann
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12:30 |
DS 4.4 |
Phasen- und Struktruanalyse von kubischen und hexagonalen Bornitrid - D"unnschichtsystemen mittels spektroskopischer Ellipsometrie im Sichtbaren und fernen Infrarot — •E. Franke, H. Neumann, M. Schubert, T.E. Tiwald, J.A. Woollam, J. Hahn, and F. Richter
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