Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 5: Tiefenaufgelöste Mößbauer–Spektroskopie

DS 5.3: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 12:15–12:30, H 55

Phasenbildung in implantierten Schichten - Charakterisierung mit tiefenselektiver Mössbauer Spektroskopie — •G. Walter¹, R. Nagel¹, D.M. Rück², B. Stahl¹, R. Gellert¹, M. Müller¹, G. Klingelhöfer¹ und E. Kankeleit¹ — ¹Institut für Kernphysik, TH-Darmstadt, Schloßgartenstr. 9, D-64289 Darmstadt — ²Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, Planckstr. 1, D-64295 Darmstadt

Die tiefenabhängige Charakterisierung ionenimplantierter Systeme hinsichtlich des chemischen und magnetischen Phasengefüges ist von großem Interesse, sowohl für grundlagen- als auch für anwendungsorientierte Problemstellungen. Der Implantationsprozeß ist durch die Dynamik der variierenden Matrixzusammensetzung bestimmt. Wesentliche, sich damit ändernde Parameter sind der Energieverlust und die daraus resultierende Reichweite, sowie die Zerstäubungsausbeute. Um den Einfluß implantationsbedingter Änderungen der Mikrostruktur auf die Implantationsdynamik zu studieren, wurde als Modellsystem Eu in Edelstahl der Zusammensetzung Fe62Ni20Cr18 implantiert und mit tiefenselektiver Konversionselektronen Mössbauerspektroskopie (DCEMS) sowie RBS untersucht. Die Ergebnisse dieser systematischen Studie werden im Zusammenhang mit analytischen Simulationsrechnungen zur dynamischen Profilentwicklung diskutiert. (Gefördert durch die GSI und das BMBF.)