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DS: Dünne Schichten

DS 5: Tiefenaufgelöste Mößbauer–Spektroskopie

DS 5.4: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 12:30–12:45, H 55

On-Line Mössbauerspektroskopie zur dynamischen Phasenanalyse implantierter Systeme — •R. Nagel¹, G. Walter¹, D.M. Rück², B. Stahl¹, R. Gellert¹, M. Müller¹, G. Klingelhöfer¹ und E. Kankeleit¹ — ¹Institut für Kernphysik, TH-Darmstadt, Schloßgartenstr. 9, D-64289 Darmstadt — ²Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, Planckstr. 1, D-64295 Darmstadt

Zur Untersuchung der Dynamik des Prozesses der Ionenimplantation in Abhängigkeit der implantierten Dosis ist die Phasencharakterisierung des implantierten Systems von entscheidender Bedeutung. Besonderes Augenmerk liegt hierbei auch auf dem Einfluß der Implantationsbedingungen (Temperatur, Restgasdruck, Adsorbatbelegung). Eine sehr wichtige Untersuchungsmethode stellt hierbei die On-Line Konversionselektronen Mössbauerspektroskopie (CEMS) dar.
Hierzu wird am 300 kV Implanter der GSI ein kompaktes Mössbauer Rückstreuspektrometer installiert. Es besteht aus einem miniaturisierten Mössbauerantrieb (Spin-Off der Weltraumforschung) und einem aus vier Channeltrons zusammengesetzten Detektorarray, zur optimalen Ausnutzung des zu detektierenden Raumwinkels. Im Rahmen dieses Beitrags werden die wichtigsten Eigenschaften dieses Rückstreuspektrometers sowie erste Untersuchungen an ionenimplantiertem Edelstahl präsentiert. (Das Projekt wird gefördert durch die GSI und das BMBF.)