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DS: Dünne Schichten

DS 7: Diamant I

Montag, 17. März 1997, 15:15–16:15, PC 7

	15:15	DS 7.1	Modell für die Bildung diamantähnlicher Phasen durch Ionendeposition — •H. Hofsäss und C. Ronning
	15:30	DS 7.2	In-situ Messung der Filmspannungen während der Gasphasenabscheidung von Diamantschichten auf Silizium — •T. Baur, R. Fehling, M. Schreck und B. Stritzker
	15:45	DS 7.3	Tieftemperatur-CVD-Diamantabscheidung mittels halogenhaltiger Precursor-Gase — •Ingo Schmidt und Carsten Benndorf
	16:00	DS 7.4	Verlust der epitaktischen Orientierung bei der Mikrowellenplasma-CVD von Diamant unter Biasbedingungen — •K.-H. Thürer, M. Schreck und B. Stritzker