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DS: Dünne Schichten

DS II: HV II

DS II.1: Hauptvortrag

Montag, 17. März 1997, 14:30–15:00, PC 7

3D–Strukturierung von Dünnen Schichten druch strahlinduziertes Direktschreiben — •M. Stuke — Max–Planck–Institut für biophysikalische Chemie, Postfach 2841, 37018 Göttingen

Dünne Schichten lassen sich per Direktschreiben 3–dimensional strukturieren durch Nutzung einer geeignet reaktiven Umgebung und ortsselektiver Energieeinkopplung. Dadurch erfolgt entweder ein selektiver Abtrag von Material oder eine Abscheidung aus der Gasphase, deren Zusammensetzung die definierte Einstellung erwünschter Materialeigenschaften erlaubt. Die relevanten Prozesse werden am Beispiel des Laser–Direktschreibens von Al₂O₃ Keramik und metallischen Strukturen diskutiert. Mögliche Anwendungen reichen von der schnellen Erstellung von Prototypen [1] bis hin zur Erzeugung von Photonischen Kristallen (“photonic bandgap structures”).

[1] O. Lehmann, M. Stuke, SCIENCE 270 (1995) 1644–1646