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DY: Dynamik und Statistische Physik

DY III: HV III

DY III.1: Hauptvortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 14:30–15:15, R4

Laserchemie an Grenzflächen: Anwendungen in der Mikrostruktur- und Dünnfilmtechnik — •D. Bäuerle — Angewandte Physik, Johannes-Kepler-Universität Linz, A-4040 Linz, Österreich

Laserinduzierte Prozesse an Grenzflächen werden im Hinblick auf die Erzeugung von Mikrostrukturen (Laser-CVD, Ätzen, Ablation), die Modifizierung von Oberflächen (Haftfestigkeit, chemische und physikalische Eigenschaften) und die Herstelung dünner Filme diskutiert [1]. Auf die Bedeutung von Instabilitäten wird ebenfalls eingegangen.

[1] Bäuerle, D.: Laser Processing and Chemistry, 2end ed., Springer, Berlin Heidelberg New York (1996)