Münster 1997 – scientific programme
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HL: Halbleiterphysik
HL 15: STM
HL 15.5: Talk
Tuesday, March 18, 1997, 11:30–11:45, H3
Optische Nahfeldspektroskopie an niedrigdimensionalen Halbleiterstrukturen — •A. Deisenrieder, C. Obermüller, K. Karrai, W. Wegscheider, M. Bichler und G. Abstreiter — Walter Schottky Institut der TU München, Am Coulombwall, D-85748-Garching
Optische Spektroskopie ist eine der wichtigsten Methoden um
niedrigdimensionale Halbleitersysteme zu untersuchen. Die fortschreitende
Miniaturisierung bis zur Nanometerskala macht eine Verbesserung der
beugungsbegrenzten Ortsauflösung notwendig. Optische Nahfeldsonden liefern
ein Auflösungsvermögen bis unter hundert Nanometer. Darüber hinaus ist es
für spektroskopische Untersuchungen von Halbleitern meist notwendig, die
Proben in einer Tieftemperturumgebung zu messen.
Zu diesem Zweck haben wir ein optisches Nahfeldmikroskop für tiefe
Temperaturen entwickelt. Wir stellen das Konzept, die technische Umsetzung und
Meßergebnisse vor. Niedrigdimensionale GaAs/AlGaAs Quantenstrukturen wurden
bei 4.2 K untersucht. Photolumineszenz wurde sowohl räumlich getrennt als
auch spektral aufgelöst gemessen.