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HL: Halbleiterphysik

HL 15: STM

HL 15.7: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 12:00–12:15, H3

Raster-Thermomikroskopie mittels thermoelektrischer Mikrosonden auf Halbleiterbasis — •R. Fischer, R. Stitzinger und E. Gmelin — Max-Planck-Institut für Festkörperforschung, Heisenbergstr.1, D-70569 Stuttgart

Die nadelförmigen Sonden bestehen aus Halbleitermaterialien (Si, Ge) und sind als Mikrothermoelemente ausgebildet.
Kleine Spitzenradien (≤ µ m) und Wärmekapazitäten erlauben orts- und zeitaufgelöste Temperaturmessungen im sub-µ m bzw. sub-µ s Bereich. Die Thermospitzen werden mittels eines piezoelektrischen xyz-Antriebs an bzw. über die Probenoberfläche bewegt.
Bei der Raster-Thermomikroskopie wird in einem SXM-Aufbau ein solcher Sensor eingesetzt und liefert gleichzeitig die Topographie und ein Temperaturbild der abgerasterten Probenoberfläche.
Es werden die Charakteristika der Spitzen, der SXM-Aufbau, sowie Raster- Thermobilder von Strukturen mit Temperaturprofilen gezeigt.