Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 22: Poster II

HL 22.3: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 15:30–18:30, Z

Geätzt, getrocknet, angestrahlt: Optische Materialkontrolle mit Filtern aus porösem Silicium — •D. Scheyen¹, S. Hilbrich¹, W. Theiß¹, M.G. Berger², M. Krüger² und M. Thönnissen² — ¹I.Physikalisches Institut, RWTH-Aachen, D-52056 Aachen — ²Institut für Schicht- und Ionentechnik (ISI), Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich

Optische Verfahren finden aufgrund ihrer prinzipiellen Zerstörungsfreiheit und Analysegeschwindigkeit zunehmend Anwendung in der Material- und Prozeßkontrolle. Viele der Problemstellungen bedürfen dabei keiner hohen spektralen Auflösung, was den Einsatz kommerzieller, qualitativ überdimensionierter Spektrometer schmerzlich macht. In solchen Fällen können einfache optische Sensoren auf der Basis von Filtern zur Analyse genutzt werden.

Interferenzfilter aus porösem Silicium bieten, aufgrund ihrer einfachen und flexiblen Herstellung, die Möglichkeit vom MIR bis zum nahen UV-Spektralbereich eingesetzt zu werden, wie anhand von Beispielen gezeigt wird.